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  國立中央大學貴重儀器使用中心目前以材料鑒定、化學分析、半導體製程及通訊系統等四大領域為主軸,共計有12台儀器設備提供校內、外單位之良好服務如下:

高解析掃描穿透式電子顯微鏡 (穿透式電子顯微鏡) 固態核磁共振光譜儀
液態 600 MHz 超導核磁共振儀系統 雷射光罩製作機
光電子能譜/歐傑電子能譜儀 超高解析質譜儀
高頻功率與雜訊量測系統 單晶X光繞射儀
(低掠角/穿透式)小角度X光散射儀 低真空掃描式電子顯微鏡
超高真空場發射掃描式電子顯微鏡 雙束型場發射聚焦離子束顯微鏡
使用者滿意度調查

 
儀器性能: 型號:JEM2100
 
1. 解析度︰格子像 ( Lattice Image )︰0.14nm、粒子像 ( Point Image )︰0.19nm
2. 試片座傾斜度︰±25°
3. 加速電壓:80~200KV
4. 放大倍率︰50~1.5M
5. 電子槍系統:LaB6 燈絲
6. 電子束直徑:最小0.5nm
服務項目:
 
1. 材料表面組織、斷面、微細組織、晶體結構及缺陷觀察分析
2. 全能譜定性(原子序B5~U92)及半定量分析(含EDS、Mapping、Linescan)
3. 電子繞射晶像判定
4. 數位影像系統,可作數位影像擷取及分析
5. 利用離子減薄機、凹片機供使用者薄化各種試片
樣本準備需知:(本機台不受理磁性、高分子、有機物等樣品)
 
1. 粉末採用鍍碳銅網200~300mesh,D:3mm
2. 材料薄化者厚度 < 100nm,D:3mm
3. 試片製作由使用者自理
4. 樣品須乾燥,在真空無揮發性
收費標準:
 
1. TEM十繞射:5,000/時段 ( 操作以三小時為一時段計 )
2. 持有執照:2,000元/時段( 操作以三小時為一時段計 )
3. EDS(不含Linescan,Mapping) 委託操作 3,000元/時段
EDS(含Linescan,Mapping) 委託操作 4,000元/時段
EDS(不含Linescan,Mapping) 自行操作 1,000元/時段
EDS(含Linescan,Mapping) 自行操作1,500元/時段
4. 持有執照: 500元/時段( 操作以三小時為一時段計 )
儀器負責人員連絡方式:
 
儀器專家:李勝隆教授 (03) 4227151~34325
儀器專家:鄭紹良教授 (03) 4227151~34233
技術人員:黃智詮先生 (03) 4227151~34009
儀器放置地點:
  中央大學工程五館 A114 室
 

 
儀器性能: 型號:JEM2000FXⅡ
 
1. 解析度︰格子像 ( Lattice Image )︰0.14nm、粒子像 ( Point Image )︰0.28nm
2. 試片座傾斜度︰±45°
3. 加速電壓:80~200KV
4. 放大倍率︰50~800K
5. 電子槍系統:LaB6orW 燈絲
6. 電子束直徑:1μm~2nm
服務項目:
 
1. 材料表面組織、斷面、微細組織、晶體結構及缺陷觀察分析
2. 全能譜定性(Na11~U92)及半定量分析
3. 電子繞射晶像判定
4. 利用離子減薄機、凹片機供使用者薄化各種試片
樣本準備需知:
 
1. 粉末採用鍍碳銅網 200~300mesh,D:3mm
2. 材料薄化者厚度 < 100nm,D:3mm
3. 試片製作由使用者自理
4. 樣品須乾燥,在真空無揮發性
收費標準:
 
3,000元/時段(未持有執照者)
1,000元/時段(持有執照者)
CCD 1,000元/時段
儀器負責人員連絡方式:
 
儀器專家:李勝隆教授 (03) 4227151~34325
儀器專家:鄭紹良教授 (03) 4227151~34233
技術人員:黃智詮先生 (03) 4227151~34009
儀器放置地點:
  中央大學工程五館 A114 室
 

 
儀器性能:
 
1. 量測固態核磁共振光譜。
服務項目:
 
1. 1H,13C,29Si, 27Al,23Na,119Sn,11B,2H,7Li,51V,71Ga 等。
2. 2D 光譜。
3. 變溫實驗。
樣本準備需知:
  需粉末狀,約 0.3 至 0.5 克,視比重而定。若非粉末,需弄成大小相同之細小顆粒 ( 因需高旋轉,均勻度要夠)。
收費標準:
 
1. One pulse,半小時內 275 元,超過十分鐘加收 100 元
2. 去氫偶極實驗,半小時內 275 元,超過十分鐘加收 100 元
3. T1 and T2 measurements,半小時內 275 元,超過十分鐘加收 100 元
4. 交叉極化實驗 CP/MAS,半小時內 275 元,超過十分鐘加收 100 元
5. 變溫實驗,每一溫度加收 200 元
儀器負責人聯絡方式:
  儀器專家:高憲明教授 (03) 4227151~65932
技術人員:傅瑞珍小姐 (03) 4227151~65939
儀器放置地點:
  中央大學科四館 207
 

 
儀器性能:
 
1. LV-SEM主體:在一般及低真空下 ( 1-270 pa ) 對表面及立體結構之觀察及照相
2. 鍍金 ( 碳 ) 機:在樣品表面鍍導電金膜碳膜
3. EDS 系統:分析樣品之元素 ( B-U )
4. EBSD 系統:決定樣品中小區域晶體結構
5. 冷凍樣品座:快速冷凍樣品及 in-situ 鍍膜用
6. 樣品加熱座:in-situ 樣品加熱
服務項目:
 
1. SEM ( SEI,BEI )
2. EDS 全能譜
3. EDS Mapping
4. EDS Line-scan
5. EDS元素半定量分析
6. 鍍金 ( 碳 )
7. Cryogenic Stage
8. Heating Stage
9. EBSD Analysis
10. Low Vacuum 觀察
樣本準備需知:
 
1. 樣品面積高<1cm,直徑<2cm
2. 樣品如為粉末狀,須先處理過 ( 熱鑲、壓塊、濾紙過濾 … 等 )
3. 使用者第一次預約須與管理員討論樣品處理問題
收費標準:
 
1. SEM 觀察,每時段 ( 三小時 ) 2400元
2. EDS 全能譜,每份報告 500 元
3. EDS Mapping,每份報告 1000 元
4. EDS Line-scan,每份報告 500 元
5. EDS 元素半定量分析,每份報告 1000 元
6. 鍍金 ( 碳 ),每批 600 元
7. Cryogenic Stage,每次 1000 元
8. Heating Stage,每 1000 元
9. EBSD Analysis,每一區域每次 2000 元
儀器負責人聯絡方式:
  儀器專家:林景崎教授 (03) 4227151~34328
技術人員:林靜典小姐 (03) 4227151~34010
儀器放置地點:
  中大工程五館 A 棟1F 117室
 

 
儀器性能:
 
1. 探頭BBFO: Z方向磁場梯度5mm,寬頻探頭頻率涵蓋範圍: 1H/19F/31P ~ 15N
2. 樣品自動送樣系統: SampleCase (24 samples)
3. 磁場強度: 14.09 Tesla
服務項目:
 
1. 1DNMR:1H,13C...等多核種『涵蓋 1H/ 19F / 31P 』
2. 2DNMR:HMQC、HSQC、HMBC、COSY、TOCSY、NOESY
3. BBFO探頭進行的實驗項目:
。H1-normal
。C13-normal
。P31-normal
。COSY (H1-H1)
。NOESY(1mixing time)
。TOCSY(1mixing time)
。DEPT(90,135)-normal NS < 512
。HMQC-2D
。HSQC-2D
。HMBC-2D
。F19 – normal
。H1orC13- dilute (Surpasses for 1hrs)
。DEPT(90,135)- dilute NS < 1024
收費標準:
 
1. 氫譜,800元/每件
2. 碳譜,1500元/每件
3. 磷譜,1000元/每件
4. 氟/F19,1500元/每件
5. 同/異核種,2DNMR,1000元/每小時
6. DEPT(90,135),1000元/每小時
 ※以上收費若未詳盡,以網頁公告為主(以及特殊需求另計)
送測須知:相關文件
儀器負責人聯絡方式:
  儀器專家:陳銘洲教授 (03) 4227151~65943
技術人員:陳秀鑾小姐 (03) 4227151~65935、65942
儀器放置地點:
  中央大學科學三館一樓105室
 

 
儀器性能:
 
1. Resolution : 40nm, 100nm, 200nm, 400nm
2. Minimum feature : 0.5 μm
3. Laser sources : 244nm, 363nm, 413nm, 442nm
4. Substrates : glass, silicon or any other flat materials
5. Exposure : photoresist
6. Image size : 140mm x 140mm
7. 利用雷射直寫光罩或元件結構
服務項目:
  使用規範、公告 ( 煩請詳閱 ):在線上預約 ( 實驗件數請填欲製作之光罩片數 ) 之後,請至 "左欄->儀器管理作業->儀器預約申請表格" 下載並填寫申請單,再交由申請者之主管或指導教授簽名後,ㄧ併自行上傳 FTP 檔案,IP:140.115.72.55,帳號/密碼:mask,port:21,甫完成申請步驟;否則ㄧ週內將予以取消線上之預約。
收費標準:
  光罩製作 1片 7100 元
儀器負責人聯絡方式:
  儀器專家:許晉瑋教授 (03) 4227151~34466
技術人員:陳瑞紅小姐 (03) 4227151~57910
儀器放置地點:
  中央大學電機系419室
 

 
儀器性能:
 
1. UHR FE-SEM主體:超高真空、低真空、BEI樣品表面及立體結構之觀察。
2. 鍍金(碳)機:在樣品表面鍍導電金膜、碳膜
3. EDS 系統:分析樣品之元素
服務項目:
 
1. SEM ( SEI,BEI )
2. EDS 全能譜
3. EDS Mapping
4. EDS Line-scan
5. EDS元素半定量分析
6. 鍍金 ( 碳 )
7. 超高真空樣品表面及立體結構之觀察
8. 低真空樣品表面及立體結構之觀察
樣本準備需知:
 
1. 樣品面積使用者對試片必需詳細說明試片之材料種類、製作方式與溶劑種類,減少儀器不必要的污染。
SEM機台對於送測樣品應該具有適當、足夠的機械強度,以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中,發生剝落、脆裂的狀況。
2. 拒絕受理之材料:
低熔點的材料如: 銦、錫、鎵等,會產生相變及蒸鍍效應。
在電子束照射下會分解、或釋出氣體之樣品如有機物、高分子等。避免影響真空之虞。
具強磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料。
含有水份未經正確處理或充分乾燥的樣品。
粉末樣品,未預先鑲埋不接受檢測。(請以樹脂鑲埋 較不建議用電木鑲埋)
3. 使用者第一次預約須與管理員討論樣品處理問題
收費標準:
 
1. SEM 觀察,每時段 ( 三小時 ) 8000元
2. EDS 元素半定量分析,每份報告 1000 元
3. EDS Mapping(含定性、半定量),每份報告 1500 元
4. EDS Line-scan(含定性、半定量),每份報告 1500 元
5. EDS Mapping及Line-scan分析,每份報告 2000 元
6. 鍍金 ( 碳 ),每批 600 元
儀器負責人聯絡方式:
  儀器專家:林景崎教授 (03) 4227151~34328
陳一塵教授 (03) 4227151~34907
技術人員:林靜典小姐 (03) 4227151~34010
儀器放置地點:
  中大工程五館 A 棟1F 121-2室
 

 
儀器性能:
 
1. Micofocus Monochromatic Al anode X-ray ( XPS, mapping ,depth profile )
2. 場發射電子槍 ( 歐傑電子能譜 ) Field emission gun(AUGER facility) SAM .depth profile
3. 紫外線光源 ( 紫外光電子能譜 ) UPS facility
4. 樣品準備室配備加熱冷卻裝置及高壓反應槽 ( preparation chamber fit with heating and cooling device and high pressure gas cell )
服務項目:
 
  ESCA :
1. 樣品表面全能譜掃描
2. 樣品表面單元素氧化態分布能譜掃描
3. 離子蝕擊下,各元素不同氧化態樣品表層之縱深分佈
4. 元素在樣品表面之二維分布影像分析
  AES :
1. 樣品表面元素之分析
2. 離子蝕擊下各元素之縱深分佈
3. 元素在樣品表面之二維分布影像分析
  UPS :
1. 紫外光電子能譜測定
樣本準備需知:
 
1. 樣品不得具有磁性、毒性或輻射性
2. 樣品須自行前處理乾淨,不得在真空下有揮發性物質放出
3. 樣品若須儀器附件前置處理請先告知
4. 粉體樣品需先打片
5. 樣品高度不得超過 1cm, 面積不超過 0.5cm*0.5cm
6. 樣品分析完畢不歸還給送檢單位
收費標準:
 
1. ESCA 表面元素分析:2500元/小時
2. ESCA 單元素能譜分析:2500元/小時
3. ESCA 縱深分布分析:3000元/小時
4. Auger 表面成份分析:2500元/小時
5. Auger 縱深分布分析:3000元/小時
6. Auger 元素影像掃描分析:2500元/小時
7. 紫外光電子能譜分析:3000元/小時
儀器負責人聯絡方式:
  儀器專家:劉正毓教授 (03) 4227151~34228
技術人員:陳力凡小姐 (03) 4227151~34007
儀器放置地點:
  中央大學工程五館 A-122 室
 

 
儀器性能:
 
1. 最大解析度可達24,000 (FWHM)。
2. 最大偵測質量可達25,000 Daltons。
3. 系統具正離子及負離子偵測能力。
服務項目:
 
1. 一般有機合成物質、有機光學材料、高分子、染料之分子量檢測。
2. 提供多方式游離功能: MALDI, ESI and APPI。
收費標準:
 
1. 一個樣品進行一次 MALDI 質譜分析收費為1200元。
2. 一個樣品進行一次ESI或APPI質譜分析收費 1200元,進行質譜/質譜分析 (含一次質譜分析) 收費 1600元。
3. 若需其他服務,請洽儀器負責老師或技術人員,收費另訂。
儀器負責人聯絡方式:
  儀器專家:丁望賢教授 (03) 4227151~65905
技術人員:陳秀鑾小姐 (03) 4227151~65935、65942
儀器放置地點:
  中央大學化學系科二館 416 室
注意事項:
 
1. 為方便校外使用者,送件可採掛號郵寄,回件以e-mail傳遞圖譜電子檔結果。請附e-mail 聯絡地址。
2. 2. 應科技部撰寫「貴儀年度工作報告」之需量化研究成果,評估貴儀中心對學術研究的貢獻,使用本單位儀器設備之實驗結果載入發表論文時,懇請於致謝(Acknowledgement)處提及本單位,並請將發表論文之 PDF 電子檔e-amil給我們以利辦理致謝優惠。感謝您的舉手之勞,使本儀器運作更加順利。
3. 送測者須檢附或說明以下資料:
(1) 測定項目(游離方法、正或負離子、MS或MS/MS)。
(2) 推測之結構式、分子式及分子量,未知物請註明質量範圍。
(3) 固、液態或溶液均可。
(4) 分析之樣品不能具放射性、腐蝕性、強酸鹼或非揮發性鹽類。
4. 為維護儀器正常運作,本儀器以技術員代操作為主。
 

 
儀器性能:
 
1. Focus Tuner for Load/Pull and Noise Measurement
2. Agilent PNA、Signal Generator、Power Meter、Spectrum Analyzer、Noise Figure Analyzer
3. Power Measurement from 10GHz to 65GHz
4. Noise Measurement from 10GHz to 40GHz
5. Input/Output Power range:- 30dBm ∼ 20dBm
6. for Power: Power-Cell、Power Amplifier
7. for Noise: Cell、Low Noise Amplifier
8. 參數 for Power: IV Curve、Power Contour、Output Power、Power Gain、P1dB、Power Efficiency
9. 參數 for Noise: S-parameter、NFmin、Associated Gain、Rn、Γopt
服務項目:
  http://www.ncu.edu.tw/~osc/order.htm
儀器負責人聯絡方式:
  儀器專家:張鴻埜教授 (03)4227151~34518
技術人員:林俞安先生 (03) 4227151~34571
儀器放置地點:
  中央大學光電中心
 

 
儀器性能:
 
1. 德國 Bruker KAPPA APEX II
2. X光產生器 2.0 KW
3.

測量單晶繞射數據,用以解析晶體結構(晶體內部分子結構或原子排列)

服務項目:
 
一般服務:
1. 晶系、晶格常數的測定
2. 單晶繞射數據的測定以及單晶結構解析
特殊服務:
1. 以合作方式作結構解析
收費標準:
 
晶格常數的測定:
1. 樣品處理:500元/件
2. Indexing:500元/小時
3. 室溫繞射數據測定:500元/小時
4. 低溫繞射數據測定:1000元/小時
結構解析:
1. 以實際進行精算之原子數目來估計使用電腦時間及磁碟空間,每個原子以50元計,特殊困難或耗時之結構解析費用另計。
2. XP繪圖:2000元/件
儀器負責人聯絡方式:
  儀器專家:李光華教授 (03) 4227151~57100
技術人員:張文中博士 (03) 4227151~65926、65931
儀器放置地點:
  中央大學化學系科二館 408 室
 

(低掠角/穿透式)小角度X光散射儀
(Grazing Incidence/Transmission Small-angel X-ray Scattering)
 
購置年度:100
管理單位:化材系
放置地點:工程五館A棟一樓A110 室
服務項目:
 
利用小角度X光散射量測技術研究如軟物質、高分子、膠體、奈米觸媒,奈米鍍膜結構,界面劑微胞結構,微孔材料中之奈米微結構、蛋白質溶液摺疊行為及生物雙層膜等研究課題,為研究物質奈米結構的標準量測方法之一。
一般服務
a. 常溫常壓GISAXS (小角度)---- (25 ℃)
b. 變溫常壓GISAXS(小角度)---- (25∼200 ℃)
c. 常溫常壓SAXS(小角度)---- (25 ℃)
特殊服務
a. 需解析結構或者是特殊實驗條件者(如b.c所述),經過儀器專家同意授權後,本中心將以合作方式提供幫助
b. 變溫真空SAXS(小角度) ---- (尚未開放)
c. GISAXS與SAXS(中角度) ---- (尚未開放)
樣本準備需知:
 
1. 接受均勻且過篩之粉末樣品,塊材的厚度需X光可穿透,且厚度均一。
2. 低掠角小角度X光散射及繞射。 薄膜樣品之分析面積大於1.5cm*1.5cm
3. 溶液樣品
開放服務對象:校內、校外
基本規格:
 
1. 請參照
2. 廠牌與型號:Rigaku - NANO-Viewer
3.

X光產生器:高能量微焦點陽極旋轉靶。最大輸出功率:1.2KW(高 頻轉換式、內置型無油式高壓變壓器), Brilliance(輝度):31 KW/mm2,Cu靶:Micro focus Φ 70mm,輸出電壓範圍:20-60KV(1KV/step) / 輸出電流範圍:10-30mA(1 mA/step),穩定度:±0.01%(相對電流±10%變化量),Ripple:≦1%

4. 點收束型集光鏡- 小角度X光散射儀之微光源及小角度X光散射針孔光學系統:反射式,穿透式小角度X光散射量測
5. 垂直面&平行面GISAXS薄膜量測。
6. 固體液體粉體溫度控置樣品室及所需試樣容器配件。可控溫-室溫至300 oC,樣品可在惰性氣體環境下加熱,專用於加熱溫控樣品室所需樣品容器。
收費標準:
 
一般用戶
1. 常溫常壓GISAXS (小角度)和SAXS(小角度):8000元/時段(操作以四小時為一時段)
2. 變溫常壓GISAXS(小角度):12000元/時段
3. 特殊服務:價格由儀器專家評估之
a. 特殊實驗條件
b. 以合作方式解析材料結構
持有執照者
1. 常溫常壓GISAXS (小角度)和SAXS(小角度):4000元/時段(操作以四小時為一時段)
2. 變溫常壓GISAXS(小角度):6000元/時段
3. 特殊服務:價格由儀器專家評估之
a. 特殊實驗條件
b. 以合作方式解析材料結構 耗材費:實驗中的消耗量X市價計算之
儀器負責人聯絡方式:
 
負責教授:孫亞賢 副教授
電話:(03) 4227151~34205
技術人員:黃智詮 先生
電話:(03) 4227151~34009
儀器網址:尚無
 

雙束型場發射聚焦離子束顯微鏡
 
儀器性能:
 
1. 聚焦離子光學系統
 
  • 高離子電流Ga液體金屬離子源
  • 加速電壓: 2~30 KV
  • 離子束電流: 65 nA
  • 放大率:40X~1,200,000X
  • 離子束解析度:7 nm at 30 KV
    2. 監控型掃描電子光學系統
     
  • 高亮度、高電流值、高解析場發射電子槍
  • 加速電壓:200 V~30 KV
  • 電子束電流:0 to 200 nA連續式調整
  • 放大率:40X~1,200,000X
  • 解析度: 高真空解析度2 nm at 30 KV
    3.

    多選擇型功能性氣體系統

     
  • 個別獨立氣體導入系統,可重新置換
  • 離子束沉積Pt電極,電阻為KΩ等級以下
    服務項目:
     
    一般服務:
    1. 穿透式電子顯微鏡(TEM)試片製作。
    2. 各式樣品之定點縱剖面切割與微結構觀察。
    3. 選擇性的材料表面蒸鍍處理。
    4. 奈米尺度特殊圖案、陣列之製作。
    5. 三維成像分析。
    樣本準備須知:
     
    1. 試片尺寸為1cm*1cm,高度0.5cm以下,若為特殊尺寸,應事先與管理者聯繫確認是否適合進行實驗。
    2. 限制使用FIB機台之材料:
     
    a. 磁性材料,如鐵、鈷、鎳及鋼材等。
    b. 有機物、粉末等電子束照射下會分解或釋出氣體材料。
    c. 低熔點的物質(小於230℃)。
    d. 於 E-beam 照射下,影像會出現扭曲變形(fuzzy)材料。
    3. 試片有油污、腐蝕或其他粘附物時,應先以超音波清洗乾淨。粉末等樣品應確實固著於試片載台上,避免鬆動掉落而毀損真空系統,試片取樣及清洗處理後,不可再用手接觸,所有後續工作如粘附、蒸鍍、放置試片等均以工具輔助之。
    4. 若因試片處理不當造成機台損壞或污染,須負賠償責任。賠償費用由原廠評估並經管理委員會決議後執行。
    收費標準:
     
    1. 學術單位:由國科會貴重儀器資訊管理系統進行預約,單位時段以3或3.5小時為單位,未滿者以其單位時段計費,每小時5000元,90%由國科會計畫支付,10%為現金支付,以時段計費,如有額外耗材一併納入實驗費用中。
    2. 具該儀器合格使用者自行操作每小時收費為2,500元。
    3. 非學術單位:請直接與本儀器之技術人員聯絡預約,每小時收費6000元,未滿1小時,以1小時計,或以每片TEM試片7500元計(特殊材料另計)。
    4. Pt沉積,每一時段提供5分鐘為限,若超過5分鐘,以5分鐘為單位收費2000元。
    5. EDX付費:本機台之EDX可做Mapping / Line Scan /定性及半定量分析,每小時加收貴儀600元。
    6. TEM試片製作請自備銅網。若無自備銅網,本單位可提供,需繳交現金200元購買。
    儀器負責人聯絡方式:
      儀器專家:李勝偉老師  (03)4227151-34905
    技術人員:
    簡郁苓 (03)4227151-34014
    儀器放置地點:
      中央大學工程五館A117
     

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