光罩製作機台
光罩製作機台
  • 儀器中文名稱:雷射光罩製作系統
  • 儀器英文名稱:Laser Direct Write Image System
  • 儀器英文簡稱:Mask
  • 儀器廠牌及型號:HIMT DWL66s
  • 儀器購置日期:2003年12月
  • 儀器功用:製作四吋和五吋玻璃光罩
  • 收費標準(每十小時):(國科會)7,100元;
              (非國科會)10,000元
  • 服務時間:週一至週五 AM8:00~PM6:00
  • 聯絡人:光電中心陳瑞紅小姐 (分機57910)