離子佈植機台
Ion implanter
  • 儀器中文名稱:中電流源離子佈植機
  • 儀器英文名稱:Medium current ion implanter
  • 儀器英文簡稱:Ion implanter
  • 儀器廠牌及型號:ULVAC IMX3500
  • 儀器購置日期:1998/02
  • 儀器功用:Mg,Zn,P,C,Si,O,H,N,Be等離子
  • 收費標準:2元/秒
  • 開放時間:週一至週五 AM9:00-PM5:00
  • 聯絡人:溫偉源教授
  • 使用申請表下載