光罩製作機台
光罩製作機台
  • 儀器中文名稱：雷射光罩製作系統
  • 儀器英文名稱：Laser Direct Write Image System
  • 儀器英文簡稱：Mask
  • 儀器廠牌及型號：HIMT DWL66s
  • 儀器購置日期：2003年12月
  • 儀器功用：製作四吋和五吋玻璃光罩
  • 收費標準(每十小時)：(國科會)7,100元；
    　　　　　　　　　 (非國科會)10,000元
  • 服務時間：週一至週五 AM8:00~PM6:00
  • 聯絡人：光電中心張毓伶小姐 (分機57910)