磊晶實驗室
MBE
  • 儀器中文名稱:分子束磊晶系統
  • 儀器英文名稱:Molecular Beam Epitaxy
  • 儀器英文簡稱:MBE
  • 儀器廠牌及型號:Riber MBE 32P
  • 儀器購置日期:1992/06
  • 儀器功用:
  • 收費標準:暫不對外開放
  • 開放時間:週一至週五 AM9:00-PM5:00
MOCVD
  • 儀器中文名稱:有機金屬化學氣相沉積系統
  • 儀器英文名稱:Metalorganic Chemial Vapor Deposition
  • 儀器英文簡稱:MOCVD
  • 儀器廠牌及型號:AIX 200/4 RF
  • 儀器購置日期:1996/02
  • 儀器功用:氮化鎵系列材料成長
  • 收費標準:暫不對外開放
  • 開放時間:週一至週五 AM9:00-PM5:00
Ion implanter
  • 儀器中文名稱:有機金屬化學氣相沉積系統
  • 儀器英文名稱:Metalorganic Chemial Vapor Deposition
  • 儀器英文簡稱:MOCVD
  • 儀器廠牌及型號:THOMAS SWAN磊晶機台含腔體等(型別3X2 GAN)
  • 儀器購置日期:2006/11
  • 儀器功用:氮化鎵系列材料成長
  • 收費標準:暫不對外開放
  • 開放時間:週一至週五 AM9:00-PM5:00