磊晶實驗室
MBE
  • 儀器中文名稱：分子束磊晶系統
  • 儀器英文名稱：Molecular Beam Epitaxy
  • 儀器英文簡稱：MBE
  • 儀器廠牌及型號：Riber MBE 32P
  • 儀器購置日期：1992/06
  • 儀器功用：
  • 收費標準：暫不對外開放
  • 開放時間：週一至週五 AM9:00-PM5:00
MOCVD
  • 儀器中文名稱：有機金屬化學氣相沉積系統
  • 儀器英文名稱：Metalorganic Chemial Vapor Deposition
  • 儀器英文簡稱：MOCVD
  • 儀器廠牌及型號：AIX 200/4 RF
  • 儀器購置日期：1996/02
  • 儀器功用：氮化鎵系列材料成長
  • 收費標準：暫不對外開放
  • 開放時間：週一至週五 AM9:00-PM5:00
Ion implanter
  • 儀器中文名稱：有機金屬化學氣相沉積系統
  • 儀器英文名稱：Metalorganic Chemial Vapor Deposition
  • 儀器英文簡稱：MOCVD
  • 儀器廠牌及型號：THOMAS SWAN磊晶機台含腔體等(型別3X2 GAN)
  • 儀器購置日期：2006/11
  • 儀器功用：氮化鎵系列材料成長
  • 收費標準：暫不對外開放
  • 開放時間：週一至週五 AM9:00-PM5:00