雷射剝離機台(已停用)
LLO machine
  • 儀器中文名稱：準分子雷射剝離機(已停用)
  • 儀器英文名稱：KrF 248nm excimer laser lift off machine
  • 儀器英文簡稱：LLO machine
  • 儀器廠牌及型號：JPSA IX-120 Laser
  • 儀器購置日期：2006年2月28日
  • 儀器功用：Laser lift off & Laser scribing
  • 開放時間：週一至週五 AM9:00-PM5:00