離子佈植機台
Ion implanter
  • 儀器中文名稱：中電流源離子佈植機(暫不開放)
  • 儀器英文名稱：Medium current ion implanter
  • 儀器英文簡稱：Ion implanter
  • 儀器廠牌及型號：ULVAC IMX3500
  • 儀器購置日期：1998/02
  • 儀器功用：Mg,Zn,P,C,Si,O,H,N,Be等離子
  • 收費標準：暫不開放
  • 開放時間：暫不開放