微光電實驗室 ── 實驗室管理訓練:黃光考核訓練
微光電實驗室 ── 實驗室管理訓練:廠務考核訓練

廠務訓練

微光電實驗室 ── 實驗室管理訓練:機台考核訓練
各機台資格可使用時段
級別 可使用時段 資格取得說明
A級 周一至周日 24小時 取得B級使用資格後,再通過廠務考試後即可向儀負人員提出申請考核。
B級 周一至周五 8:00~22:00 完成下表之訓練次數並考核通過
各機台基本訓練次數
機台名稱 機台訓練次數(觀看+操作) 機台名稱 機台訓練次數(觀看+操作)
SAMCO PECVD(III-V) 3+3 Sputter 5+3
BMR CVD 3+3 ARTs-RTA 3+3
HDP 3+3 LPT-RTA 3+3
Sentech ICP 2+6 Furnace 3+3
RIE 3+6 K-Aligner(MA6) 3+6
E-gun 3+5 Q-Aligner 3+3
E-gun thermal 4+8 UV-Ozone 3+3
Thermal Coater 3+3 Alpha Steper 2+6
E_Beam 6+4 Probe Station 3+3
SEM 10