微光電實驗室 ── 機台服務
微光電實驗室各機台收費標準(102年1月1日起實施)
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機台 |
委託操作收費 單位:元/時 |
機台
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委託操作收費 單位:元/時 |
|---|---|---|---|
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LPCVD |
2500 |
Furnace |
3200 |
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PECVD |
2000 |
ARTS RTA |
2600 |
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BMR CVD |
2000 |
LPT RTA |
2600 |
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HDP |
1500 |
E-Beam Writer(II) |
5000 |
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STS-ICP |
3200 |
SEM |
1000 |
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Sentech ICP |
3000 |
K-Aligner(MJB-3) |
1000 |
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Samco ICP |
3200 |
K-Aligner(MA6) |
1500 |
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RIE |
2400 |
Q-Mask Aligner |
1000 |
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Sputter |
2300 |
UV-OZONE |
1000 |
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E-gun |
1400 |
Dektak |
800 |
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E-gun Thermal |
1400 |
Ellipsometer |
1700 |
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Thermal Coater |
1400 |
Probe Station |
800 |
- 單位以小時計價。
- 非本校中央大學計畫支出須加收25%管理費。
儀器預約系統 http://140.115.115.36