微光電實驗室 ── 機台服務
收費說明

微光電實驗室各機台收費標準(102年1月1日起實施)

機台
委託操作收費 單位:元/時
機台
委託操作收費 單位:元/時
LPCVD
2500
Furnace
3200
PECVD
2000
ARTS RTA
2600
BMR CVD
2000
LPT RTA
2600
HDP
1500
E-Beam Writer(II)
5000
STS-ICP
3200
SEM
1000
Sentech ICP
3000
K-Aligner(MJB-3)
1000
Samco ICP
3200
K-Aligner(MA6)
1500
RIE
2400
Q-Mask Aligner
1000
Sputter
2300
UV-OZONE
1000
E-gun
1400
Dektak
800
E-gun Thermal
1400
Ellipsometer
1700
Thermal Coater
1400
Probe Station
800

  • 單位以小時計價。
  • 非本校中央大學計畫支出須加收25%管理費。
委託操作申請

機台委託服務申請表

儀器預約系統

儀器預約系統 http://140.115.115.36